空位形成能的单位有J/mol，在某一空位周围的原子，它们在靠近空位一侧失去了正常的原子作用力，平衡位置向空位存在的地方移动，引起空位周围晶格畸变，系统能量增高，这部分增高的能量叫做空位形成能。由于能量起伏总有一些原子的能量大到足以克服周围原子对它的束缚，就有可能迁移到别处，这样在原来的平衡位置上就会出现结点，称为空位。

在晶体中，原子是以格点平衡位置为中心振动着，一个原子的振动和周围原子的振动有密切的关系。这使原子振动的能量服从麦克斯韦-玻尔兹曼几率分布，而呈现涨落现象。当某一原子能量大到一定程度，就可能脱离正常的平衡位置，而在原格点处形成空位。